BMM0071 Microfabrication

6 ECTS - 3-0 Duration (T+A)- . Semester- 3 National Credit

Information

Code BMM0071
Name Microfabrication
Term 2024-2025 Academic Year
Semester . Semester
Duration (T+A) 3-0 (T-A) (17 Week)
ECTS 6 ECTS
National Credit 3 National Credit
Teaching Language Türkçe
Level Yüksek Lisans Dersi
Type Normal
Mode of study Yüz Yüze Öğretim
Catalog Information Coordinator


Course Goal / Objective

The aim of this course is to introduce the fabrication processes of semiconductor circuit devices and to perform simulations with computer aided design programs.

Course Content

Introduction to microfabrication, Crystal growth techniques, Epitaxy, Doping, Chemical vapor deposition technique, Molecular beam epitaxy, Atomic layer deposition, Thermal oxidation, Wet and dry oxidation, Photolithography, Diffusion, Drive-in process, Etching, Ion implantation, Thin film deposition, metallization

Course Precondition

The course has no prerequisites.

Resources

Gary S. May, Simon M. Sze, "Fundamentals of semiconductor fabrication", Wiley

Notes

S. Franssila, "Introduction to Microfabrication", Wiley


Course Learning Outcomes

Order Course Learning Outcomes
LO01 Recognize semiconductor elements
LO02 Learn diffusion process
LO03 Learn oxidation process
LO04 Learn Chemical vapor deposition process
LO05 Learn photolithography process
LO06 Learn ion implantation methods
LO07 Learn etching process
LO08 Learn metallization processes
LO09 Simulate the fundamental microfabrication processes with a TCAD software


Relation with Program Learning Outcome

Order Type Program Learning Outcomes Level
PLO01 Bilgi - Kuramsal, Olgusal To be able to solve scientific problems encountered in the field of medicine and medical technologies by applying current and advanced technical approaches of mathematics, science and engineering sciences. 4
PLO02 Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği To have a knowledge of the literature related to a sub-discipline of biomedical engineering, to define and model current problems. 2
PLO03 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı Ability to analyze data, design and conduct experiments, and interpret results 5
PLO04 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı Developing researched contemporary techniques and computational tools for engineering applications 5
PLO05 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı To be able to analyze and design a process in line with a defined target 3
PLO06 Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği Conducting scientific studies with a medical doctor from an engineering perspective.
PLO07 Yetkinlikler - İletişim ve Sosyal Yetkinlik Expressing own findings orally and in writing, clearly and concisely.
PLO08 Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği To be able to improve oneself by embracing the importance of lifelong learning and by following the developments in science-technology and contemporary issues. 4
PLO09 Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği Ability to act independently, set priorities and creativity. 2
PLO10 Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik Being aware of national and international contemporary scientific and social problems in the field of Biomedical Engineering.
PLO11 Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik To be able to evaluate the contribution of engineering solutions to problems in medicine, medical technologies and health in a global and social context.


Week Plan

Week Topic Preparation Methods
1 Introduction to semiconductor microfabrication Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
2 Crystal Growth Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
3 Diffusion process Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
4 Thermal oxidation process Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
5 Epitaxy methods Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
6 Chemical vapor deposition process Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
7 Physical vapor deposition, Atomic Layer Deposition Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
8 Mid-Term Exam Reading lecture materials Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi, Yazılı Sınav
9 Mask design Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
10 Photolithography process Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
11 Ion implantation Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
12 Etching Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
13 Rapid thermal annealing Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
14 Metallization Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
15 TCAD simulations Reading lecture materials Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
16 Term Exams Reading lecture materials Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi
17 Term Exams Reading lecture materials Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi


Student Workload - ECTS

Works Number Time (Hour) Workload (Hour)
Course Related Works
Class Time (Exam weeks are excluded) 14 3 42
Out of Class Study (Preliminary Work, Practice) 14 5 70
Assesment Related Works
Homeworks, Projects, Others 0 0 0
Mid-term Exams (Written, Oral, etc.) 1 15 15
Final Exam 1 30 30
Total Workload (Hour) 157
Total Workload / 25 (h) 6,28
ECTS 6 ECTS

Update Time: 18.05.2024 12:33