BMM0071 Mikrofabrikasyon

6 AKTS - 3-0 Süre (T+U)- . Yarıyıl- 3 Yerel Kredi

Genel Bilgi

Kod BMM0071
Ad Mikrofabrikasyon
Yarıyıl . Yarıyıl
Süre (T+U) 3-0 (T-U) (17 Hafta)
AKTS 6 AKTS
Yerel Kredi 3 Yerel Kredi
Eğitim Dil Türkçe
Seviye Yüksek Lisans Dersi
Tür Normal
Öğretim Şekli Yüz Yüze Öğretim
Bilgi Paketi Koordinatörü Dr. Öğr. Üyesi MUSTAFA İSTANBULLU


Dersin Amacı

Bu dersin amacı yarıiletken devre elemanlarının fabrikasyon süreçlerinin tanıtılması ve bilgisayar destekli tasarım programları ile simulasyonlarının gerçekleştirilmesidir.

Dersin İçeriği

Mikrofabrikasyona giriş, Kristal büyütme teknikleri, Epitaksi, Doping, Kimyasal buharla serme tekniği, Moleküler ışın epitaksisi, Atomik katman depozisyonu, Termal oksidasyon, Islak ve kuru oksidasyon, Fotolitografi, Difüzyon, Drive-in işlemi, Aşındırma, İyon implantasyonu, İnce film depozisyonu, Metalizasyon

Dersin Ön Koşulu

Dersin ön koşulu bulunmamaktadır.

Kaynaklar

Gary S. May, Simon M. Sze, "Fundamentals of semiconductor fabrication", Wiley

Notlar

S. Franssila, "Introduction to Microfabrication", Wiley


Dersin Öğrenme Çıktıları

Sıra Dersin Öğrenme Çıktıları
ÖÇ01 Yarıiletken elementleri tanır
ÖÇ02 Difüzyon sürecini öğrenir
ÖÇ03 Oksitleme sürecini öğrenir
ÖÇ04 Kimyasal buharla serme sürecini öğrenir
ÖÇ05 Fotolitografi sürecini öğrenir
ÖÇ06 İyon implantasyonu yöntemlerini öğrenir
ÖÇ07 Dağlama sürecini öğrenir
ÖÇ08 Metal serme yöntemlerini öğrenir
ÖÇ09 Temel mikrofabrikasyon süreçlerininin TCAD yazılımı ile benzetimini yapar


Program Öğrenme Çıktıları ile İlişkisi

Sıra Tür Program Öğrenme Çıktıları Duzey
PÖÇ01 Bilgi - Kuramsal, Olgusal Tıp ve tıp teknolojileri alanında karşılaşılan bilimsel problemlere, matematik, fen ve mühendislik bilimlerinin güncel ve ileri teknik yaklaşımlarını uygulayarak çözüme ulaştırabilme. 4
PÖÇ02 Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği Biyomedikal mühendisliği biliminin bir alt bilim dalı ile ilgili literatüre vakıf olma, güncel problemleri tanımlama ve modelleme. 2
PÖÇ03 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı Verileri çözümleme, deney tasarlama, yapma ve sonuçları yorumlayabilme 5
PÖÇ04 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı Mühendislik uygulamaları için araştırılan çağdaş teknikleri ve hesaplama araçlarını geliştirme 5
PÖÇ05 Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı Tanımlanmış bir hedef doğrultusunda bir süreci çözümleyebilme ve süreç tasarlayabilme. 3
PÖÇ06 Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği Mühendislik bakış açısıyla tıp doktoru ile birlikte bilimsel çalışmalar yapma. 1
PÖÇ07 Yetkinlikler - İletişim ve Sosyal Yetkinlik Kendi bulgularını sözlü ve yazılı, açık ve öz bir şekilde ifade etme. 1
PÖÇ08 Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği Hayat boyu öğrenmenin önemini benimseyerek, bilim-teknoloji ve çağdaş konular hakkında gelişmeleri izleyerek kendini geliştirebilme.
PÖÇ09 Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği Bağımsız davranma, öncelikleri belirleme ve yaratıcılık becerisi.
PÖÇ10 Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik Biyomedikal Mühendisliği alanında ulusal ve uluslararası çağdaş bilimsel ve sosyal sorunların farkında olma.
PÖÇ11 Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik Küresel ve toplumsal çerçevede mühendislik çözümlerinin tıp, tıp teknolojileri ve sağlık alanındaki sorunlara katkılarını değerlendirebilme.


Haftalık Akış

Hafta Konu Ön Hazırlık Yöntemler
1 Yarıiletken mikrofabrikasyona giriş Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
2 Kristal üretimi Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
3 Difüzyon süreci Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
4 Termal oksitleme süreci Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
5 Epitaksi yöntemleri Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
6 Kimyasal buharla serme süreci Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
7 Fiziksel Buharla Serme, Atomik katman serme Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
8 Ara Sınavlar Ders kaynaklarını okuma Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi, Yazılı Sınav
9 Maske tasarımı Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
10 Fotolitografi yöntemi Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
11 İyon implantasyonu Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
12 Dağlama Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
13 Hızlı termal tavlama Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
14 Metal serme Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
15 TCAD benzetimleri Ders kaynaklarını okuma Öğretim Yöntemleri:
Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar
16 Yarıyıl Sonu Sınavları Ders kaynaklarını okuma Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi
17 Yarıyıl Sonu Sınavları Ders kaynaklarını okuma Ölçme Yöntemleri:
Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi


Öğrenci İş Yükü - AKTS

Çalışmalar Sayısı Süresi (Saat) İş Yükü (Saat)
Ders ile İlgili Çalışmalar
Ders (Sınav haftaları dahil değildir) 14 3 42
Sınıf Dışı Ders Çalışma (Ön çalışma, pekiştirme) 14 5 70
Değerlendirmeler ile İlgili Çalışmalar
Ödev, Proje, Diğer 0 0 0
Ara Sınavlar (Yazılı, Sözlü, vs.) 1 15 15
Yarıyıl/Yıl Sonu/Final Sınavı 1 30 30
Toplam İş Yükü (Saat) 157
Toplam İş Yükü / 25 (s) 6,28
AKTS 6 AKTS